盛美半导体设备（上海）股份有限公司

国内单片清洗设备的龙头企业，独创 SAPS/TEBO 兆声波清洗技术，可在不损伤精细图形的前提下提升清洗效果，产品覆盖单片清洗、槽式清洗、先进封装湿法设备与电镀设备。公司在中芯国际、长江存储、华虹等国内主流产线的清洗设备国产化中占据主要份额，并已进入海外客户供应链。

代表性产品与技术

单片清洗设备 · 槽式清洗设备 · 电镀设备 · 先进封装湿法设备

作为国产清洗设备的核心供应商，盛美被美方认定为支撑中国先进制程与存储制造能力的关键环节。2024 年 12 月的实体清单规则将其列入，限制其获取美国原产零部件（兆声波换能器、精密泵阀、控制模块）。其美国关联公司 ACM Research 的业务也因此面临更严格的合规审查。

限制关键词

清洗设备先进制程供应链

部分美系零部件断供，推动国产替代；海外业务合规成本上升。

• 2024 年 12 月 2 日列入
  实体清单

  BIS 将盛美上海列入实体清单

  89 FR 96830

1. 联邦公报：Additions and Modifications to the Entity List; Removals From the Validated End-User (VEU) Program（89 FR 96830）