Skyverse Technology Co.
国内领先的半导体质量控制设备商,产品覆盖无图形晶圆缺陷检测、图形晶圆缺陷检测、三维形貌量测与薄膜膜厚量测,是国产量检测设备替代进口(科磊、应用材料)的主力。量检测贯穿晶圆制造全流程,长期是国产化率最低的环节之一,中科飞测的突破填补了关键空白。
晶圆缺陷检测设备 · 三维形貌量测 · 膜厚量测
量检测设备是先进制程良率控制的核心,美方将其列入实体清单,限制其获取美国原产的光学镜头、激光器、精密运动平台与图像处理软件,以延缓国产量检测能力向先进节点延伸。
量检测良率控制设备自主
高端光学部件进口受限,推动国产光学供应链配套。
BIS 将中科飞测列入实体清单
89 FR 96830